基于超构表面光场调控的二维位移精密测量技术设计
2024-01-23中国科学技术大学光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组王沛教授和鲁拥华副教授在精密位移的光学感测研究方面取得新进展，设计了一种光学超构表面（metasurface），将二维平面的位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化，实现了平面内任意移动轨迹的大量程（百微米量级）、高精度（亚纳米）的非接触感测。研究成果以“High-precision two-dimensional displacement metrology based on matrix metasurface”为题，于20